GaAs DIC 기술동향

저자
김동구, 박형무 / 화합물집적회로연구실
권호
3권 4호 (통권 10)
논문구분
일반 논문
페이지
114-0
발행일자
1988.12.15
DOI
10.22648/ETRI.1988.J.030410
초록
본 고에서는 GaAs DIC (Digital Integrated Circuits)의 최근 연구경향을 공정기술을 중심으로 소개한다. GaAs DIC의 역사, 공정, 설계, 집적도에 대하여 살펴봄으로써 초고속 GaAs DIC 개발의 향후 방향을 모색하고자 한다. 본 고는 1987년 SPIE지에 게재된 일본 NTT연구소의 Hirayama와 Ikegami의 논문 내용을 중심으로 편역한 것이다.
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