방사선 영상 장치용 반도체 검출기

Semiconductor Detectors for Radiation Imaging Applications

저자
박건식, 박종문, 윤용선, 김보우, 강진영 / 공정기술팀
권호
22권 5호 (통권 107)
논문구분
IT 융합 • 부품 기술 특집 논문
페이지
95-0
발행일자
2007.10.15
DOI
10.22648/ETRI.2007.J.220510
초록
X-선 측정 및 영상장치를 포함한 다양한 응용분야에서 방사선에 대한 고해상도의 영상을 얻기 위한 목적으로 반도체 검출기에 대한 개발이 활발히 진행되고 있다. 본 고에서는 방사선 검출을 위해 요구되는 반도체 물질의 주요 특성에 대해서 조사하였다. 또한 반도체를 이용한 플랫 패널(flat panel) 시스템, 픽셀 디텍터(pixel detector)와 스트립 디텍터(strip detector) 등의 혼성형 디텍터(hybrid detector), MAPS와 DEPFET 등의 단일형 픽셀 디텍터(monolithic pixel detector)의 디바이스 동작 원리 및 특성과 국내외 기술 동향에 대하여 살펴보았다.
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