광노광을 위한 투영광학계의 기술분석
- 저자
- 이종현, 배남진, 전치훈, 장원익, 이용일, 김윤태, 김상호, 김보우 / 공정장비연구실
- 권호
- 5권 2호 (통권 16)
- 논문구분
- 일반 논문
- 페이지
- 129-0
- 발행일자
- 1990.06.15
- DOI
- 10.22648/ETRI.1990.J.050210
- 초록
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