저차원 나노 소재 기반 다기능 전자파 차폐 및 센싱 응용기술

Mutifunctional EMI Shielding and Sensing Applications based on Low-dimensional Nanomaterials

저자
민복기신소자연구실
이윤식신소자연구실
탐반누엔신소자연구실
슈브라몬달신소자연구실
최춘기신소자연구실
권호
35권 4호 (통권 184)
논문구분
일반논문
페이지
11-20
발행일자
2020.08.01
DOI
10.22648/ETRI.2020.J.350402
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초록
With the widespread use of high-performance electronics and mobile communications, electromagnetic interference (EMI) shielding has become crucial for protection against malfunctioning of electronic equipment and harmful effects to human health. In addition, smart sensor technologies will be rapidly developed in untact (non-contact) environments and personal healthcare fields. Herein, we introduce our recently developed technologies for flexible multifunctional EMI shielding, and highly sensitive wearable pressure–strain and humidity sensors realized using low-dimensional nanomaterials.
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Ⅰ. 서론

저차원 나노 소재는 결정구조의 차원 수에 따라 0D, 1D, 2D, 3D 물질로 구분되는 소재 중에서 0D, 1D, 2D 물질을 말하며, 대표적 물질인 2차원(2D) 소재는 원자들이 단일 원자층 두께(~1nm)를 가지고 평면에서 결정구조를 이루는 나노 물질을 말한다. 결정구조의 차원 수에 따라 대표적 물질로는 0D는 플러렌(Fullerene), 1D는 탄소나노 튜브(Carbon Nanotube), 2D는 그래핀(Graphene), 3D는 그라파이트(Graphite)가 있다. 2차원 소재는 전기적 특성에 따라 도체 특성을 가지는 그래핀(Graphene)과 멕신(MXene), 반도체 특성을 가지는 전이금속 칼코겐화합물(Transition Metal Dichalcogenides)과 흑린(Black Phosphorus), 부도체 특성을 가지는 육방정 질화붕소(Hexagonal Boron Nitride) 등이 있다. 그래핀은 우수한 물리적·전기적·기계적 특성을 가지고 있으나, 밴드갭이 없어 다양한 전자/광전 소자로 응용되기에는 한계가 있으며, 최근에는 그래핀과 다른 저차원 소재를 복합 소재로 제조하여, 다양한 산업 분야에 응용하는 연구가 크게 증가하고 있다. 이런 나노 복합소재는 저차원 소재와 고분자 소재와의 하이브리드를 통해 물리적·화학적으로 각각의 소재가 원래의 성질을 유지하면서 단독의 소재로는 얻을 수 없는 특성을 갖는 소재로서 원래의 소재보다 우수한 물성을 갖게 되며, 다양한 기능성을 갖는 신기능 소재 개발이 가능하다. 나노 복합소재는 제품에서 필요로 하는 기능을 중심으로 광/전자 소재, 에너지/환경 소재, 생체/바이오 소재 등으로 분류된다. 기능성 제품으로는 전자파 차폐/흡수 소재, 투명전극 소재, 센서 소재, 방열 소재, 발열 소재, 전도성 필름, 슈퍼 캐패시터, 대전방지 코팅제, 나노잉크 등 다양한 분야에 응용되고 있다. 세계 나노 복합소재 시장은 2020년 572억 달러 규모로 예상되며, 국내 시장은 2020년 7,100억 원 규모로 전망된다.

본 고에서는 ETRI 신소자연구실에서 최근 연구 개발을 진행한 고분자 나노 복합소재를 이용한 다기능 전자기파 차폐/흡수 소재 기술과 저차원 나노 복합소재를 이용한 압력-스트레인 센서 및 습도 센서 기술에 대해 소개하고자 한다.

Ⅱ. 나노복합소재 기반 다기능 전자파 차폐/흡수 소재 기술

최근 5G 통신이 상용화됨에 따라 이를 활용한 사물 인터넷 및 스마트 홈/팩토리 등의 기술들이 확대되면서, 고속 데이터 처리 속도를 가지는 차세대 통신 소자, 반도체 부품 및 무선기기들의 개발이 가속화되고 있다. 이러한 소자들의 성능이 고도화되고 집적화되면서 개별 소자에서 발생되는 전자기파로 인해 각 부품 간의 신호 간섭 및 성능 저하, 기기 오작동 등에 대한 우려가 심각히 대두되고 있다. 이에 따라 전자부품에서 발생하는 전자기파 장애에 대한 국제적 규제가 점점 엄격해지고 있어, 전자기파 간섭을 차단하기 위한 차폐 소재의 필요성이 점차 증가되고 있다. 더욱이 고속, 고용량의 통신 시스템이 활성화됨에 따라 주파수 부족 현상이 심화되고 있다. 또한, 자율자동차의 출현으로 ITS(Intelligent Transportation System) 통신을 통한 차량 간 정보 공유와 고도의 지능정보처리가 요구되면서 향후 인접한 대역 간의 전자기파 간섭이 더욱 심화될 것으로 예상된다. 이러한 주파수 부족 현상을 해결하기 위해 수~수십 GHz 이상의 고주파수 대역으로 확장하려는 움직임이 있다. 이를 대응하기 위해 향후 전자기파 차폐 소재는 수~수십 GHz 이상의 고주파수 대역까지 차폐할 수 있는 소재의 개발이 필요할 것으로 예상된다. 전자기파 간섭 차폐[Electromagnetic interference(EMI) shielding]는 전자부품에서 발생되는 전자기파를 반사 또는 흡수하여 전자기기 간의 전자기파 간섭을 차단하는데 목적을 가진다. 이러한 전자기파 차폐 소재는 우수한 전기전도도를 가져야 하고 넓은 표면적을 가지는 것이 유리하다. 기존의 전자기파 차폐 소재는 전기전도도가 우수한 금속을 주로 사용하였다. 하지만, 금속은 무게가 무겁고 가공성이 떨어지며 산화에 의한 부식을 일으키는 문제점이 있다. 이러한 문제를 해결하기 위해 최근에는 고분자에 전기전도도가 우수한 그래핀이나 탄소나노튜브와 같은 전도성 탄소 소재 등의 필러를 혼합하여 전자기파 차폐/흡수 소재를 개발하고 있는 추세이다. 전기전도도가 우수한 고분자 복합소재는 가볍고, 가공성이 우수하며 혼합된 필러의 종류 및 양에 따른 기계적·전기적 특성의 제어가 용이하다는 장점이 있다.

한편, 전자기파 간섭뿐만 아니라 고집적화된 전자부품에서 발생되는 발열/열 밀도 증가로 인해 다양한 종류의 기능 저하와 오작동이 발생된다. 실제로 전자부품의 성능과 수명에 가장 큰 영향을 미치는 것은 발열에 의한 것으로 전자부품 소재/소자의 일정한 성능과 고수명을 유지하기 위해서는 열관리가 매우 중요하다. 방열 소재는 일반적으로 전자기기의 소형화 및 경량화를 위하여 고분자 소재에 금속 필러, 탄소 소재, 또는 금속코팅 탄소 소재를 균일하게 혼합한 복합시트를 사용하고 있다.

최근에는 전자기파 차폐 기능과 방열 기능을 동시에 가지는 나노 복합소재 기반의 복합기능소재를 개발하려는 움직임이 있다. 이는 전자기기의 고경량화 및 소형화 측면에서 매우 유리하다. 하지만, 전자기파 차폐와 고방열 특성을 동시에 구현하기 위해서는 소재 간의 계면 간섭 현상 및 고분자와 나노 소재 간의 복합화, 성능 극대화를 위한 복합 필름의 구조 설계 등 기술적 해결 방안이 요구된다. 또한, 전자기파 차폐 소재는 기본적으로 높은 전기전도도를 갖기 때문에 줄 발열(Joule Heating)을 이용한 면상발열체로 응용된다.

본 장에서는 그래핀, 탄소나노튜브 그리고 우수한 전기전도도를 가지는 신소재인 멕신기반의 나노 복합소재를 이용한 전자기파 차폐/흡수, 방열, 발열 소재에 대한 기존의 연구 동향을 살펴보고 최근 ETRI에서 개발한 나노 복합소재 기반 다기능 전자기파 차폐/흡수 소재 기술을 소개하고자 한다.

1. 고분자 나노 복합소재 기반 전자기파 차폐/흡수, 방열 및 발열 소재 연구 동향

고분자 나노 복합소재의 전자기파 차폐, 발열 및 방열 성능은 고분자에 혼합된 나노 소재의 전기/열전도 특성에 영향을 받는다. 고분자 나노 복합소재의 이러한 기능들에 대한 기본적인 원리는 그림 1에 나타내었다.

그림 1

고분자 나노 복합소재 기반. (a) 전자기파 차폐 원리 (b) 방열 열전도 원리 (c) 발열 원리

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먼저, 전자기파 차폐는 차폐 소재에 들어오는 전자기파를 어느 정도 차단해 주는지에 따라 그 성능을 평가한다. 이는 전자기파 차폐 효율(EMI SE: EMI Shielding Effectiveness)로 정의되고, 단위는 데시벨(dB)을 사용한다. 전자기파 차폐 효율은 전자기파가 차폐 소재에 입사될 때, 차폐 소재에 의한 반사, 흡수, 그리고 내부 다중 반사율의 총합이다. 이러한 전자기파의 반사, 흡수, 내부 다중 반사율은 차폐 소재의 두께, 전기전도도, 유전율, 투자율, 비표면적 등에 영향을 받는다. 따라서 고분자 매트릭스에 혼합되는 나노 소재의 구조, 물성, 양 등의 물리적 특성을 제어하는 것은 전자기파 차폐 소재의 성능에 매우 중요한 영향을 미친다. 그래핀이나 탄소나노튜브와 같은 저차원 나노 소재는 우수한 전기전도성을 가지고 있어 전자기파 차폐 소재로 많은 연구가 진행되었다[1-3]. 이러한 저차원 나노 소재는 우수한 전기적 특성뿐만 아니라 큰 비표면적을 갖고 있고, 계면에 전기 쌍극자를 형성하기 때문에 복합소재 내부에서 전자기파의 내부 다중 반사 및 흡수를 유도하여 입사된 전자기파의 반사를 억제하고 흡수를 증가시켜 전자기파를 차폐한다[2]. 이는 차폐 소재로부터 반사되는 전자기파에 의한 2차 피해를 예방할 수 있다.

고체 물질에서 열전도는 포논(Phonon)에 의한 격자 진동과 자유전자를 통해 이루어진다. 비금속인 고분자에서의 열의 이동은 주로 포논에 의한 격자 진동에 의해서 이루어지는데, 내부에서의 다양한 산란 작용(Phonon-phonon scattering, Boundary scattering, Defect scattering 등)으로 인해 일반적으로 매우 낮은 열전도도(0.1~0.2W/mK)를 가진다[4]. 고분자에 열전도도가 우수한 나노 소재 필러를 혼합하여 고분자 복합소재의 열전도도를 향상시키는 연구가 많이 진행되고 있다[4]. 그래핀, 탄소나노튜브와 같은 저차원 나노 소재를 열전도 필러로 사용하는 경우, 열전달은 나노 소재의 자유전자 이동에 의해 이루어진다. 이러한 경우 포논에 의한 열전달보다 더 효과적이다. 최근에는 전기전도성 저차원 나노 소재를 혼합한 나노 복합소재를 이용하여 고효율의 전자기파 차폐 기능과 방열 기능을 동시에 만족하는 다양한 연구들이 진행되고 있다[5-7].

탄소나노 소재를 필러로 사용한 나노 복합소재의 경우, 탄소나노 소재의 우수한 전기전도도와 큰 종횡비로 인해 고분자 내부에 전자가 수월하게 움직일 수 있는 통로가 형성되어 자체적으로 매우 낮은 전기 저항을 보인다. 이러한 나노 복합소재에 외부 전압을 인가하게 되면 내부에서 전자가 이동하고 이에 따라 줄 발열이 발생한다. 이는 고분자 나노 복합소재 기반 전자기파 차폐 소재를 유연한 발열체로 응용할 수 있는 가능성을 보여준다.

탄소나노튜브는 우수한 전기전도도(~106S/m)와 열전도도(>3,000W/mK)를 갖고 있어 전자기파 차폐, 방열 및 발열 기능의 복합소재의 필러로 많은 연구가 진행되고 있고, 산업에도 응용되고 있다[4]. 기존에 보고된 폴리우레탄, 에폭시 등의 고분자와 혼합된 탄소나노튜브 기반 전자기파 차폐 복합 필름의 경우, 약 2mm의 두께에서 X-band 영역(8.2~12.4GHz)의 전자기파에 대해서 약 20~50dB의 차폐성능을 보여주고 있다[8-10]. 기존의 고분자/탄소나노 소재 복합소재는 탄소나노 소재의 높은 종횡비 및 나노 사이즈의 작은 크기로 인해 분산에 한계가 있어 높은 전기전도도를 확보하기가 어려웠다. 이를 극복하기 위해 Zhong Zhang 그룹은 수분산 폴리우레탄(Waterborne Polyurethane)에 다중벽 탄소나노튜브를 다량 혼합한 전자기파 차폐/흡수 필름에 대한 연구를 보고하였다[11]. 이 연구에서는 폴리우레탄 고분자 체인이 물에 분산되어 있는 수분산 폴리우레탄을 이용하여 탄소나노튜브와의 분산성을 크게 향상시켜 다량의 탄소나노튜브(76.2wt%)가 함유된 복합필름을 제작하였다. 제작된 복합필름은 2,100S/m의 우수한 전기전도도를 보여준다. 0.8mm의 두께를 가지는 복합필름의 경우 X-band 영역의 전자기파 대역에서 약 80dB의 차폐 성능을 가진다.

탄소나노튜브 기반 고분자 복합소재의 열전도 특성의 경우, 탄소나노튜브의 분산도, 배열, 첨가량, 종횡비 등에 영향을 받는다. 고분자에 탄소나노튜브를 첨가함으로써 열전도도는 많게는 10배 정도 증가하는 것으로 알려져 있다[12].

탄소원자로 이루어진 2차원 평면 구조의 그래핀은 탄소나노튜브와 버금가는 전기전도도(~6,000S/m) 및 열전도도(~5,000W/mK)를 갖고 있고, 넓은 비표면적(2,630m2/g)을 갖고 있어 전자기파 차폐/흡수 및 방열 소재로 각광받고 있다[12]. 하지만, 화학적 안정성이 매우 우수하여 분산성이 낮아 고분자 복합소재 제작에 제약이 따른다. Junwei Gu 그룹은 3차원의 그래핀 플레이트/환원 그래핀 폼을 제작하고 에폭시를 채워 넣어 나노 복합소재를 제작하였다[5]. 그래핀 플레이트를 첨가함으로써 소재의 전기전도도 및 열전도도를 개선시켰다. 3mm 두께를 갖는 복합소재의 전자기파 차폐 성능은 약 50dB 정도로 보고되었고, 열전도도는 1.6W/mK로 기존 고분자에 비해 향상된 결과를 보여준다.

최근, 전이 금속과 탄소가 결합된 2차원 층상 구조를 갖는 멕신이라는 신소재가 보고되었다[13]. 멕신은 그래핀과 같이 우수한 전기/열전도도를 가지면서 표면에 친수성 기능기를 갖고 있어 수용성 용액에 분산이 매우 용이하다는 장점을 가지고 있다. Yuri Gogotsi 그룹은 최초로 멕신의 전자기파 차폐 성능을 보여주었다[14]. 이 그룹은 멕신의 한 종류인 Ti3C2TX 플레이크와 Sodium alginate(SA)를 혼합하여 약 9μm 두께의 매우 얇은 복합 필름을 제작하였고, 50dB 이상의 전자기파 차폐 성능을 보고하였다. 이는 두께 대비 매우 우수한 차폐 성능을 보여주고 있고, 우수한 전자기파 차폐 소재로서의 가능성을 보여 주었다. Zhong-Zhen Yu 그룹은 멕신을 직물에 도포하여 웨어러블 소자에 응용이 가능한 다기능 전자기파 차폐 소재를 개발하였다[15]. 직물 기반의 전자기파 차폐 소재는 두께 약 1.3mm에서 90dB의 우수한 전자기파 차폐 성능을 갖는 동시에 줄 발열 특성을 보여주었다. 멕신이 코팅된 직물 소재는 1,000S/m의 우수한 전기전도도를 가지고 있기 때문에 발열체로서 우수한 성능을 보임을 입증하였다.

나노 소재의 종류에 따라서 고분자와의 분산성 및 기계적 물성 저하 등 기술적으로 해결해야 할 부분이 있지만, 나노 소재 기반의 고분자 복합소재는 전자기파 차폐 소재로서 뿐만 아니라 방열, 발열 소재로서의 응용 가능성이 매우 높다.

2. 나노 복합소재 기반 다기능 전자기파 차폐/흡수 소재 기술

앞서 설명한 것처럼 전자기기 및 통신기기의 고성능화가 요구되면서 고주파수 대역의 전자기파 차폐 소재에 대한 요구가 증대하고 있다. ETRI에서는 이러한 요구를 충족하기 위해 광대역의 전자기파를 차폐/흡수하는 소재에 대한 원천 기술을 확보하였다. 3차원 다기공성의 금속 촉매를 이용하여 열화학기상증착법으로 3차원의 그래핀을 합성하고, 보다 효율적인 전자기파 흡수를 위해 자성 물질인 산화철 나노입자를 멕신 소재의 층간에 삽입하고 그래핀 표면에 도포하였다. 그리고 기계적인 유연성을 확보하기 위해서 3차원 다기공성 구조의 그래핀/산화철/멕신 소재에 실리콘 엘라스토머를 도포하였다. 개발된 복합소재(두께 1mm)는 X-band 영역뿐만 아니라 Ka-band 영역(26~40GHz)에서 80dB 이상의 차폐 성능을 보여준다(그림 2). 또한, 다기공성 구조를 가지는 복합소재는 외부 압력에 따른 구조 변형에 의해 저항 변화를 감지할 수 있어 압력 센서로서의 응용 가능성을 확인하였다. 특히, 멕신이 결합된 경우, 비표면적의 증가로 인해 압력 센서의 민감도가 크게 향상됨을 입증하였다[16].

그림 2

그래핀/멕신 기반의 3차원 다기공성 구조의 전자기파 차폐/흡수 소재. (a) 전자기파 차폐/흡수 소재의 사진 이미지 (b) 소재 내부의 전자현미경 이미지 (c) 소재 구성 및 구조 모식도 (d, e) X-band, Ka-band 영역의 전자기파에 대한 필러 종류에 따른 차폐성능 비교

출처 V.-T. Nguyen et al., “MXene(Ti3C2TX)/graphene/PDMS composites for multifunctional broadband electromagnetic interference shielding skins,” Chemical Eng. J., vol. 393, 2020, Article no. 124608.

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또한, 개발된 복합소재는 3차원 그래핀 네트워크 구조에서 기인한 우수한 전기전도도를 갖기 때문에 발열 특성을 갖는 히터(Heater)로 응용될 수 있다. 그림 3은 복합소재로 제작된 히터의 발열 특성 평가 결과를 보여준다. 그림에서와 같이 인가한 전압에 따른 온도 변화와 열분포가 일정하고, 상대적으로 낮은 전력이 요구되며 매우 빠른 온도 변화 특성을 가진다. 또한, 구부림 시에도 온도 분포가 전체 면적에서 균일함을 볼 수 있다.

그림 3

전자기파 차폐/흡수 소재의 발열 특성 평가. (a) 발열체의 전압 인가에 따른 온도 변화 그래프 (b) 발열체의 안정성 평가 결과 (c) 인체에 부착 후, 발열 작동 이미지 (d) 구부림 시 발열 평가 이미지

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이는 전자 및 의료기기, 자동차 전장부품, 웨어러블 스마트 기기 및 로봇용 스킨 등 전자기파 노출 환경에 적합한 다기능 차폐/흡수 및 발열 소재로서 다양하게 응용이 가능할 것으로 기대된다.

Ⅲ. 저차원 나노 복합소재 기반 압력-스트레인 센서 및 습도 센서 기술

저차원 나노 복합소재 중에서 반도체 특성을 갖는 2차원 전이금속 칼코겐화합물은 단일 원자층 또는 층수 변화에 따라 전하 이동도 및 전자 밴드갭의 특성이 변할 뿐만 아니라 외부 환경적 물리량 변화에 민감한 전기적 특성을 갖고 있다. 저차원 반도체 소재의 이러한 독특한 전기적 특성으로 인하여 외부 환경적 변화에 기인한 물리량을 감지할 수 있는 구성 소재로 적합하며, 유연성을 갖는 박막형 소자의 제작이 용이하여 웨어러블 센서 소자 구현의 응용연구가 활발히 진행되고 있다[17].

일반적으로 외부 변형에 저항 변화 특성을 가지는 금속 및 반도체 소재를 기반으로 웨어러블 소자가 제작되나, 밀도/경도의 특성으로 인해 인체 적용가능 부위가 제한되어 있어서 우수한 생체 접합성을 가지고, 높은 민감도를 가지는 웨어러블 소자의 구현이 필요하다. 본 장에서는 관련 기술의 연구 동향과 ETRI 연구결과를 함께 소개한다.

1. 고감도 압력-스트레인 센서 기술

전도성이 뛰어나고 기계적 특성이 우수한 저차원 나노 소재는 유연한 고분자와 복합화하여 생체 접합성이 높은 웨어러블 센서로 주목 받고 있다. 전도성 소재 구성에 주요한 저차원 나노 소재는 높은 종횡비를 갖는 1차원 형태의 구조와 면상 구조들로 이루어진 2차원 구조로 나눌 수 있다. 1차원의 경우 선형적인 탄소나노튜브(Carbon Nanotube), 탄화된 나노섬유 등의 소재가 있으며 CNT/Polycarbonate, CNT/Cotton/Polyurethane, CNT/Ecoflex 같은 복합소재가 보고되고 있다[18]. 1차원의 소재보다 2차원 소재에서 소재 간 연결 변화가 크게 나타나며, 저항 변화가 큰 만큼 높은 민감도를 구현할 수 있다. 이러한 구조적 변화에 센싱 민감도를 더 증가하기 위하여 2차원 소재들의 3차원 네트워크 구조가 도입될 수 있으며, 더욱 민감도를 극대화하기 위하여 저차원 반도체 소재와 복합 구조체 방식의 연구가 진행되고 있다. 최근 ETRI에서는 큰 비표면적을 갖는 3차원 그래핀 다공성 네트워크 구조(GPN: Graphene Porous Network)와 압전특성을 갖는 이황화몰리브덴(MoS2)의 복합구조체를 이용하여 높은 유연성, 재현성 및 민감도를 갖는 MoS2/GPN 복합소재를 개발하였다[19]. 그림 4는 제작된 MoS2/GPN 샘플의 전자주사현미경 사진과 측정 결과를 나타낸다. 특히 MoS2 나노 플레이크의 구성비를 점진적으로 증가시켰을 때 ~6kPa-1의 높은 민감도를 가지며 4,000회 이상의 재현성을 확인할 수 있었다. 또한 눈 깜박임과 목 구부림 등을 감지할 수 있는 간단한 패치형태의 센싱 실험이 진행되었으며, 다양한 신체 움직임을 감지할 수 있는 결과를 보여주었다. 이러한 복합구조체의 결과는 기존의 그래핀 폼 기반의 3차원 네트워크 구조보다 우수한 민감도 특성을 보이며 다양한 웨어러블 스마트 기기 및 로봇용 스킨에 활용될 것으로 기대한다.

그림 4

복합구조체 기반 저차원 나노 소재 압력-스트레인 센서. (a) MoS2/GPN/Ecoflex 제작 샘플 (b) 압력 변화에 따른 민감도 측정 (c) 재현성 측정 (d) 눈 깜박임 동작 측정 (e) 목 구부림 동작 측정

출처 S. J. Kim et al., “Highly sensitive and flexible strain-pressure sensors with cracked paddy-shaped MoS2/graphene foam/Ecoflex hybrid nanostructures.” ACS Appl. Materials Interfaces, vol. 10, 2018, pp. 36377-36384.

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2. 고감도 습도 센서 기술

습도 센서는 일반적으로 저항식, 정전용량식, 광학식이 있으며, 구동방법에 따라 교류, 직류 측정 방식으로 나누게 된다. 사용처와 목적에 따라 절대습도 측정이 용이한 광학식 방식이 필요할 수 있고, 상대습도 측정이 필요한 경우에 저항식/정전용량식 습도 센서가 적용될 수 있다. 저차원 나노 소재는 기존 상대습도를 측정하는 반도체 기반의 습도 센서에 비해 우수한 생체 접합성 특성과 높은 민감도로 인해 웨어러블 상대습도 센서로 주목 받고 있으며, 상용화를 위하여 짧은 응답시간과 높은 민감도, 재현성 및 신뢰성이 요구된다.

최근 ETRI에서는 큰 비표면적을 가지는 저차원 반도체 소재(MoS2)를 이용하여 비표면적이 극대화된 3차원 벌집구조를 제작하여 높은 민감도를 갖는 습도 센서를 개발하였다[20]. 그림 5는 제작된 벌집구조의 모식도와 제작샘플, 측정 결과에 해당한다. 3차원 벌집구조를 갖기 위해 아노딕 알루미늄 옥사이드(AAO: Anodic Aluminium Oxide) 멤브레인 표면에 MoS2 용액을 진공 여과(V.F: Vacuum Filtration)하여 벌집구조를 갖는 고감도 습도 센서(AMHS: AAO assisted MoS2 Humidity Sensor)를 제작하였다. 시간의 변화에 따라 주입된 공기의 상대 습도와 상관된 높은 응답 특성을 보이며, 상대습도 20~85% 범위에서 0.5초 이내의 빠른 응답 특성을 가지며 기존 상용 습도 센서보다 660배 높은 민감도를 갖는다.

그림 6

고감도 습도 센서를 활용한 피부상태 자가진단 뷰티미용 제품 예시

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그림 5

3차원 벌집구조체 기반 저차원 나노 소재 습도 센서 (a) MoS2/AAO 구조 모식도 및 측정 모식도 (b) 비접촉 습도 센싱 사진 (c) 피부 수분 측정 사진 (d) MoS2 솔루션을 AAO 멤브레인에 4회 진공 여과한 센서 샘플의 간헐적 습도 변화에 따른 반응성 (e) MoS2 여과 횟수별 습도 변화에 따른 센서 민감도 (f) 거리에 따른 비접촉 습도 센싱 (g) 말하기 호흡 패턴 변화에 따른 습도 센서 반응성

출처 S. Mondal et al., “Honeycomb-like MoS2 Nanotube Array-Based Wearable Sensors for Noninvasive Detection of Human Skin Moisture.” ACS Appl. Materials Interfaces, vol. 12, 2020, pp. 17029-17038.

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본 센서는 웨어러블 소자뿐만 아니라 비접촉식 습도 센서 구현이 가능하며 사람의 호흡 패턴, 피부의 수분 함유량 등 다양한 인체정보의 습득이 가능하다. 더욱이 디지털 헬스케어, 뷰티·미용 보습 제품, 터치리스 스크린, 엘리베이터 버튼 등에 활용이 예상된다. 특히 코로나19로 인해 접촉에 의한 감염 우려를 해결하는 대안 기술로서 비접촉 버튼/스위치 등에 적용이 기대된다.

Ⅳ. 결론

전자기기의 고성능화와 데이터 통신의 고용량 및 고속도화에 따라 전자기기의 오작동을 최소화하고, 인체 유해성을 방지하기 위해서는 전자기파의 효율적인 차폐/흡수 소재 기술이 계속해서 요구될 것이다. 또한 코로나19 사태로 인해 로봇, 센서 등 비대면 환경과 헬스케어 분야에서 필요한 기술들이 급격하게 발전할 것으로 예상된다. 본 고에 소개된 나노 복합소재 기반 다기능 전자기파 차폐/흡수 및 히터 기술과 고감도 압력-스트레인 센서 및 습도 센서 기술은 전자/의료 기기, 자동차 전장부품, 웨어러블 스마트 기기 및 로봇용 스킨, 헬스케어, 뷰티·미용 보습 기기, 비접촉 전자기기 등의 다양한 산업 분야에 널리 활용될 것으로 전망된다.

용어해설

전자기파 간섭 차폐(EMI shielding) 전자/전기 부품에서 발생하는 전자기파 간섭 현상을 차단하는 기술

약어 정리

AAO

Anodic Aluminum Oxide

AMHS

AAO assisted MoS2 Humidity Sensor

CNT

Carbon Nanotube

EMI

Electromagnetic Interference

EMI SE

EMI Shielding Effectiveness

GPN

Graphene Porous Network

V.F

Vacuum Filtration

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그림 1

고분자 나노 복합소재 기반. (a) 전자기파 차폐 원리 (b) 방열 열전도 원리 (c) 발열 원리

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그림 2

그래핀/멕신 기반의 3차원 다기공성 구조의 전자기파 차폐/흡수 소재. (a) 전자기파 차폐/흡수 소재의 사진 이미지 (b) 소재 내부의 전자현미경 이미지 (c) 소재 구성 및 구조 모식도 (d, e) X-band, Ka-band 영역의 전자기파에 대한 필러 종류에 따른 차폐성능 비교

출처 V.-T. Nguyen et al., “MXene(Ti3C2TX)/graphene/PDMS composites for multifunctional broadband electromagnetic interference shielding skins,” Chemical Eng. J., vol. 393, 2020, Article no. 124608.

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그림 3

전자기파 차폐/흡수 소재의 발열 특성 평가. (a) 발열체의 전압 인가에 따른 온도 변화 그래프 (b) 발열체의 안정성 평가 결과 (c) 인체에 부착 후, 발열 작동 이미지 (d) 구부림 시 발열 평가 이미지

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그림 4

복합구조체 기반 저차원 나노 소재 압력-스트레인 센서. (a) MoS2/GPN/Ecoflex 제작 샘플 (b) 압력 변화에 따른 민감도 측정 (c) 재현성 측정 (d) 눈 깜박임 동작 측정 (e) 목 구부림 동작 측정

출처 S. J. Kim et al., “Highly sensitive and flexible strain-pressure sensors with cracked paddy-shaped MoS2/graphene foam/Ecoflex hybrid nanostructures.” ACS Appl. Materials Interfaces, vol. 10, 2018, pp. 36377-36384.

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그림 6

고감도 습도 센서를 활용한 피부상태 자가진단 뷰티미용 제품 예시

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그림 5

3차원 벌집구조체 기반 저차원 나노 소재 습도 센서 (a) MoS2/AAO 구조 모식도 및 측정 모식도 (b) 비접촉 습도 센싱 사진 (c) 피부 수분 측정 사진 (d) MoS2 솔루션을 AAO 멤브레인에 4회 진공 여과한 센서 샘플의 간헐적 습도 변화에 따른 반응성 (e) MoS2 여과 횟수별 습도 변화에 따른 센서 민감도 (f) 거리에 따른 비접촉 습도 센싱 (g) 말하기 호흡 패턴 변화에 따른 습도 센서 반응성

출처 S. Mondal et al., “Honeycomb-like MoS2 Nanotube Array-Based Wearable Sensors for Noninvasive Detection of Human Skin Moisture.” ACS Appl. Materials Interfaces, vol. 12, 2020, pp. 17029-17038.

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