펄스 레이저를 이용한 고온 초전도박막 증착의 레이저-타깃 반응 기구
- 저자
- 서정대, 강광용, 성건용 / 기초기술연구부
- 권호
- 7권 3호 (통권 25)
- 논문구분
- 일반 논문
- 페이지
- 84-0
- 발행일자
- 1992.09.15
- DOI
- 10.22648/ETRI.1992.J.070306
- 초록
- 본 고에서는 <TEX>$YBa_2Cu_3O_7_x$</TEX> 고온초전도 물질의 박막제조에 있어서 현재 가장 각광을 받고 있는 펄스 레이저 증착공정의 원리, 특징등을 살펴보았다. 특히, 이 공정에서 입사 레이저와 고체 타깃간의 상호작용으로 인한 플룸의 발생, 물질의 방출, 기판상의 증착 등과 관련된 반응기구를 중점적으로 기술하였다.
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