클러스터 콘트롤러
The Cluster Contoller
- 저자
- 이해문, 정태진
- 권호
- 13권 1호 (통권 49)
- 논문구분
- 일반 논문
- 페이지
- 29-0
- 발행일자
- 1998.02
- DOI
- 10.22648/ETRI.1998.J.130104
- 초록
- 반도체 산업에서는 다비이스 제조 비용의 절감과 정밀도 향상을 위한 공장자동화의 한 방향으로 '년대 후반부터 여러 공정의 반도체 제조장비를 클러스터화 하여 국제적 표준으로 제정하려는 노력이 꾸준히 진행되어 왔다. 반도체 장비의 클러스터 표준화는 제조 메이커가 각기 상이한 장비의 호환성과 상호 운용성을 증대시킴으로 장비 고유의 생산성과 디바이스 제작 능력의 한계를 확장시키고 제조기간과 비용을 크게 절약시킬 수 있다. 본 고에서는 클러스터 툴이라고 하는 반도체 장비의 핵심기술인 클러스터 콘트롤러에서의 모듈간 통신 및 제어 기술을 중심으로 국제적 표준활동의 진행과 기술의 발전방향에 대하여 소개하고자 한다.
2623 Downloaded
916 Viewed
Share
- Sign Up
- 전자통신동향분석 이메일 전자저널 구독을 원하시는 경우 정확한 이메일 주소를 입력하시기 바랍니다.