집속 이온빔 (FIB) 기술 및 응용
- 저자
- 이종현, 배남진, 강봉구, 박성호 / 장치기술 연구실
- 권호
- 2권 3호 (통권 5)
- 논문구분
- 일반 논문
- 페이지
- 55-0
- 발행일자
- 1987.09.15
- DOI
- 10.22648/ETRI.1987.J.020304
- 초록
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