반도체제조의 생산성 제고를 위한 반도체 공정 주변기술

저자
이용일, 배남진 / 신공정장비연구실
권호
3권 1호 (통권 7)
논문구분
일반 논문
페이지
53-0
발행일자
1988.03.15
DOI
10.22648/ETRI.1988.J.030104
초록
소자의 집적도가 향상됨에 따라 공정조건 제어의 중요성이 부각되고 있다. 따라서 제조환경의 엄격한 제어가 요구되고, 사용되는 화학약품 및 탈이온수의 순도가 중요해지고 있다. 즉, 반도체 제조공정의 주변기술에 대한 중요성이 높아지는 추세이다. 본고에서는 이러한 주변기술의 발전동향에 대해 간략하게 기술하였다.
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